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关电源比线性电源会产生更多的干扰，对共模干扰敏感的用电设备，应采取接地和屏蔽措施，按ICE1000，EN61000，FCC等EMC限制，关电源均采取EMC电磁兼容措施，因此关电源一般应带有EMC电磁兼容滤波器。如利德华福技术的HA系列关电源，将其FG端子接大地或接用户机壳，方能满足上述电磁兼容的要求。
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进一步地，所述真空部件12设有除尘系统。当挥发物产生后，到达一定浓度时，抽真空，将挥发物从炉体内抽走，尽可能地不让挥发物接触、粘附到观察窗上；之所以设置除尘系统，是因为挥发物中含有的均是金属氧化物，不及时的话，容易堵塞真空部件的元器件，不利于连续生产。以人工方式在单晶炉前将固态多晶硅料一块块地从炉体外转移到石英坩埚内，再进行合炉，真空检漏[1]。整个过程非常缓慢，而且装料过程中要避免硅料碎屑落入热场内。传统装料方法为炉前装料离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用\引言直拉法(CZ)生产单晶硅是目前单晶硅的主要方法。在单晶生产过程中装料时间(清炉结束到合炉)约为2h追求低成本和率成为每一个企业市场的逐胜之道。其中具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个特制的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封。新型热屏不仅起到导流筒的作用，了氩气流场，使单晶氧含量下降，而且热屏解决了大直径单晶生长中结晶潜热难以散发的问题，提高了拉晶速率，降低了生产成本。
