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提拉式长晶炉回收+徐州鼓楼控制柜回收附近的电话

发布:2024/4/26 14:20:41 来源:shxj365
提拉式长晶炉徐州鼓楼控制柜附近的电话且可减少热 能及氩气消耗的直拉式单晶生长炉。实现本发明目的的技术方案是一种直拉式单晶生长炉,其包括 氩气输入管,与氩气输入管相连通的环形气体分布器,其特征在于经氩 气输入管输入的氩气气压为0. 8xl03Pa0. 9xl03Pa,氩气流量为 30L/min。上述技术方案中。本发明的目的是一种易于及时排出炉内的混合气体发明内容还包括设于直拉式单晶生长炉的坩埚支持器下方和 该部的排气口之间的气流导向装置以防止 因该中轴孔与石墨中轴之间的间隙而漏气抗氧化(2)本发明 的直拉式单晶生长炉中整个炉内的一氧化硅与氩气的混合气体(包 括坩埚支持器下方的混合气体)能通畅地排出炉外本发明的气流导向装置的一对通气孔与该炉的 一对排气口相 对设置,缩短了排气管路,利于提高排气效率。行程关,位置关(又称限位关)的一种,是一种常用的小电流主令电器。利用生产机械运动部件的碰撞使其触头动作来实现接通或分断控制电路,达到一定的控制目的。通常,这类关被用来限制机械运动的位置或行程,使运动机械按一置或行程自动停止,反向运动,变速运动或自动往返运动等。

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其结构原理如图F1所示,其动作原理与按钮关相同,但其触点的分合速度取决于生产机械的运行速度,不宜用于速度低于0.4m/min的场所。直动式行程关组成1:推杆 2&4:簧 3:动断触点 5:动合触点.。观察窗 抽真空管道 组成\炉筒:包括取光孔\下炉筒:包括抽真空管道\底座机架:全铸铁机架和底座\坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成\分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管。翻板阀提拉头:主要由盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成\副室:主要是副室筒以及上下法兰组成\ 炉盖:副室连接法兰若干胶管 水管卡套等\氩气管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件\ 真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等\电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线。

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无泄露,长期使用不需充磁,精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件,确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试,高速旋转下籽晶晃动小于2mm,适应半导体工艺需求。坩埚升降及旋转部件:使用超大铸铁立柱,双滚动直线,精密滚珠丝杠以及进口等能件组合设计,确保坩埚系统在超重超低速工况下长期平稳运行。籽晶轴旋转及提拉密封均采用高品质的磁流体密封组件提拉式单晶炉特点籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性浮动式翻板阀设在主副炉室之间。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,安全技术作规程编辑1,在全部和部分带电的盘上进行工作,应将检修设备与运行设备以明显标志隔。

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